人体艺术写真 浙江大学研发出微米和纳米钙钛矿 LED，为迄今限度已公开最小 LED 像素

3 月 21 日音问，浙江大学文书，该校研究团队获胜研发出微米和纳米钙钛矿 LED，并达到了传统 LED 难以涉及的 ——90nm 尺寸新极限，同期降圭臬流程仅形成眇小的性能损耗。

相干研究后果已于昨日以“Downscaling micro- and nano-perovskite LEDs”为题发表在《当然》上（DOI:10.1038/s41586-025-08685-w）。

图源：浙江大学

“降圭臬”在电子科学中专指减轻基本器件尺寸的流程，引颈着绸缪机科学、信息骄傲和东说念主机交互等限度的时刻变调。Micro LED 便是一种“降圭臬”的 LED，通过减轻 LED 的尺寸，可达成超高清、超高精度的光电骄傲。

浙江大学光电科学与工程学院 / 海宁海外调和学院狄大卫教育先容称，“当今天下最先进的骄傲时刻是基于 III-V 族半导体的 Micro LED，被觉得是骄傲器的‘终极时刻’。”

钙钛矿 LED 是一种可诳骗于骄傲、照明和通信等限度的新式光源，在色调纯度、色域宽度上有极大的上风。几年前，从三五族半导体 Micro LED 的袖珍化研究中得到启发，狄大卫团队开动研制用于改日骄傲时刻的更小的钙钛矿 LED。

初步尝试后，团队于 2021 年头度提议了“袖珍钙钛矿 LED（micro-PeLED）”的看法，后续取得了国度与海外专利。

“对钙钛矿 LED 进行袖珍化并弗成沿用 Micro LED 时刻。而况，传统的光刻工艺会迫害钙钛矿材料。”狄大卫说，“制造袖珍钙钛矿 LED 最节略的身手是对顶部和底部的电极战役进行图案化，用电贫穷复的区域界说发光像素区域，然则这种身手会使像素领域处的钙钛矿材料裸露在电极边际，容易产生非发射能量损耗，进而使 LED 遵守裁减。”

“咱们想象了一套局域战役工艺，其马虎在附加绝缘层中引入由光刻制作的图案化窗口，以确保像素区域隔离电极边际。”连亚霄先容。

图：Micro / nano-PeLED 与其他 LED 时刻的相比

这一工艺有用保证了 LED 的发光遵守，使团队马虎制造像素尺寸从数百微米到 90 纳米的钙钛矿 LED。赵保丹说：“关于绿色和近红外钙钛矿 LED 而言，当像素尺寸在数百微米到 3.5 微米范围时，外量子遵守均保抓在 20% 左右。”

研究团队配置的 micro 和 nano-PeLED 相较于基于 III-V 族半导体的 Micro LED 具有上风，大致在 180 纳米的极小尺寸才开动清晰降尺寸效应，此时的遵守裁减至最高值的 50%。而传统 Micro LED 在尺寸低于 10 微米时遵守就一经权贵下跌。

狄大卫说：“论文中所展示的 nano-PeLED 最小可达到 90 纳米，是迄今限度报说念的最小 LED 像素。”基于此，团队创建的具有 127000 PPI 超高分裂率的 LED 像素阵列也摘得统统类型 LED 阵列最高分裂率的记录。

图：有源矩阵 micro-PeLED 微骄傲器呈现的图像

据先容，团队与杭州领挚科技联袂制作了由 TFT 背板驱动的有源矩阵 micro-PeLED 微骄傲器原型，马虎呈现复杂的图像和视频，当今正在积极鼓动时刻诳骗。

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